[问答题,简答题] PSA运转方式有哪些？各有什么特点？

参考答案：

PSA运转方式有两种：自动步进和手动步进。
运转方式设定为自动时，屏幕状态、区域里步位号之后显示“AUTO”，循环程序由微机控制自动前进，即PSA•装置接受来自压力和定位器信号的控制，自动按程序前行，所有对压力敏感的工艺步骤，如吸附、均压、排放、抽空等都被检查完成情况，若要求的工艺参数未被满足，程序将停滞在该步上，直到条件满足或改变运转方式人为使程序前进。
运转方式设定在手动方式时，循环程序立即停滞在此时的步位上，所有计时器都停止计时，程序前进由操作员手动控制，按下一次步进键，程序将前进一个步位，而不管工艺条件如何。

● 参考解析