[问答题,简答题] 怎样用压力比较法检测吸附器有泄漏阀门？

参考答案：

压力比较法是通过几个吸附器或全部吸附器在某个相同步位完成某个相同的工艺步骤时的压力水平进行比较，例如在一均升压开始时，若某个吸附器压力与其它吸附器压力不同，就可确认此吸附器有阀漏，是漏入或漏出，操作人员通过正常运行时压力作比较，就可以确定。

● 参考解析